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白光干涉儀的特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域
點(diǎn)擊次數(shù):2340 更新時(shí)間:2016-01-26
白光干涉儀特點(diǎn):
1、非接觸式測(cè)量:避免物件受損。
2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為1nm---200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需幾秒鐘。
6、掃描儀:閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓
8、測(cè)量軟件:基于windows/Mac/操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
白光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域:
1、半導(dǎo)體晶片
2、液晶產(chǎn)品(CS,LGP,BIU)
3、微機(jī)電系統(tǒng)
4、光纖產(chǎn)品
5、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)盤(HDD,DVD,CD)
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物醫(yī)學(xué)工程