形貌儀是采用自主核心的技術(shù)研制開發(fā)并成功推出的高精密測量儀器。形貌儀采用白光干涉原理，測量樣品表面微細形狀分布。是綜合運用光電子技術(shù)、微弱信號檢測技術(shù)、精密機械設(shè)計和加工技術(shù)、數(shù)字信號處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、精密控制技術(shù)、計算機高速采集和控制技術(shù)、高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機、電一體化的高科技產(chǎn)品。為使用者提供高度、高解析度、快速、非接觸的三維數(shù)據(jù)。可以快速測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸至納米級別。操作方便快捷、應(yīng)用范圍廣泛。形貌儀分高精度型和標準型，滿足用戶不同級別的測量需求。