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美國SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)
更新時間:2024-09-23
產(chǎn)品型號:WP-15
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:
產(chǎn)品特點(diǎn):美國SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)SVT公司的樣品解理部件可以將15mm(其他尺寸可選)的方形樣品解理成15個1mm×15mm的Bar條。所有解理出的bar條被收集到樣品托,堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。*設(shè)計的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。此解理工具可*適用于UHV環(huán)境。解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊。解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室,不用暴露大。
美國SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)介紹
SVT公司的樣品解理部件可以將15mm(其他尺寸可選)的方形樣品解理成15個1mm×15mm的Bar條。
所有解理出的bar條被收集到樣品托,堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。
*設(shè)計的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。
此解理工具可*適用于UHV環(huán)境。
解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊。
解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室,不用暴露大氣。
美國SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)規(guī)格
在線bar條解理
加工15mm×15mm 樣品(10mm-32mm可選)
加工成15mm×1mm 樣品(1mm-5mm寬度可選)
8''法蘭接口
可烘烤至180℃,(200℃可選)
樣品可以兩種方向加工
UHV環(huán)境兼容
Cassette裝取
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